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空气O3含量0.02mL/m3属于正常值，臭氧主要是由人为排放的NOx、VOCs等污染物的光化学反应生成，100属于不合格。臭氧在水溶液中的分解速度比其在气相中的分解速度快。臭氧在水中分解半衰期与温度及pH值有关。随着温度升高，分解速度加快。如果浓度达到0.1mL/m3时，就会刺激粘膜，浓度达到2mL/m3时会引起中枢神经障碍。在波长小于240nm紫外线的辐射条件下，平流层中的臭氧会分解，产生的氧原子与氧分子结合产生臭氧。
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